不止干净呆板人,新松真空机械手也已进入芯片建造出产关键
宣布日期: 2021-01-15     来历: OFweek呆板人网    


克日领会到,新松呆板人出产的真空机械手已起头在芯片出产建造关键中获得应用,首要客户包含南方华创、中微半导体等。

 

半导体财产对财产呆板人的须要愈来愈多,首要有驱动型呆板人、组装和搬运型呆板人等,不过这一范畴持久被头部企业所操纵,出格是ABB、发那科、川崎重工、安川机电和库卡5家公司。

 

在应用上,我国与美日建造强国也存在较大差异。以2019年半导体财产干净室呆板人的接纳情形为例。

 

2019年,欧洲干净室呆板人装机量为201台,位列第七名;中国台湾固然具有台积电等天下级巨子,不过总量上仅以990台装机量位列第六;第五、第四名别离为韩国、新加坡,2019年总装机量别离为1089台、1157台。

 

受美国禁令影响,位列第三的中国大陆总装机量为1194台,较2018年的1735台下滑了45.3%。

 

美国建造业固然外迁,但在半导体建造范畴仍引领风流,2019年干净室呆板人总装机量为2321台。

 

排名第一的这天本,2019年积累装机量为9279台(含日本厂商海内发卖),比后6名的总装机量之和还要多。

 

须要出格申明的是,日本的装机量设备根基都是由日本企业所供给的,首要供给商有川崎重工(KAWASAKI)、安川机电(YASKAWA)、DAIHEN、乐孜(RORZE)等。

 

在这方面,我邦外乡企业绝对来讲要掉队很多。

 

为改变这一场合排场,以新松为代表的外乡呆板人企业早早就起头布局半导体范畴呆板人处理计划。

 

至2020年,新松在追求从半导体设备供给商向半导体体系处理计划供给商改变上又跨出了一大步,已具有干净呆板人系列产品、EFEM、Stocker、Mask搬运体系的供给才能,出格是干净呆板人已构成系列化产品,普遍应用于IC设备、凯发 、平板显现、生物制药等行业,EFEM产品也占有了国际市场主导位置,新松凭此成为外乡独一一家干净呆板人供给商。

 

早在2020年4月,新松研发的IC真空驱念头械手已获得了小批量发卖冲破,今朝已胜利在南方华创、中微半导体等外乡半导体设备建造企业中领先获得应用;自立研发的中国首套柔性OLED呆板人胜利托付利用,为国产呆板人初次进入高端柔性屏幕出产线;AMHS体系也凭仗过硬的硬件和节制体系技术,起头挞伐天下各首要半导体工场。

 

在此须要出格申明的是,南方华创和中微半导体均是外乡半导体设备建造商,此中南方华创主营半导体设备、真空设备、新动力锂电设备及紧密元器件营业;IC设备范畴笼盖刻蚀机、PVD、CVD、炉管、洗濯等多个大类,除光刻机之外几近涵盖一切的IC建造设备,已成为我国高端半导体设备龙头企业。

 

而中微半导体则是我国在半导体范畴设备建造细分范畴代表,是环球蚀刻机顶尖建造商,其对标的是应用资料、泛林、东京凯发 等国际巨子。也正由于中微半导体的存在,蚀刻机至今不被美国限定入口,并为台积电等顶级芯片建造商所推销。今朝中微半导体已实现了从65nm蚀刻机到5nm的庞大前进,接上去将攻坚3nm蚀刻机,这已经是今朝人类所能批量出产的半导体工艺制程极限。

 

新松IC真空驱念头械手成为这两家芯片设备建造商的下游供给商,正面反应了新松相干产品的技术气力,有益于我国半导体芯片高端建造设备的国产化。